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海关编码
| 海关商品名称
| 海关商品备注
| 法定单位 一
| 法定单位 二
| 惠税(%)
| 普税(%)
| 增值税(%)
| 监管条件
| 商检标志
| 84862010
| 氧化、扩散、退火及其他热处 理设
| 制造半导体器件 或集成电路用的
| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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| 84862021
| 制造半导体器件或集成电路用 化学
| 化学气相沉积装 置(CVD)
| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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| 84862022
| 制造半导体器件或集成电路用 物理
| 物理气相沉积装 置(PVD)
| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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| 84862029
| 其他制造半导体器件或集成电 路用
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| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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| 84862031
| 制造半导体器件或集成电路用 分步
| 步进光刻机
| 台 |
| 0 | 100
| 17 |
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| 84862039
| 其他将电路图投影或绘制到感 光半
| 制造半导体器件 或集成电路用的
| 台 |
| 0 | 100
| 17 |
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| 84862041
| 制造半导体器件或集成电路用 等离
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| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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| 84862049
| 其他制造半导体器件或集成电 路用
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| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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| 84862050
| 制造半导体器件或集成电路用 离子
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| 台 |
| 0 | 11 | 17 |
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| 84862090
| 其他制造半导体器件或集成电 路用
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| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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| 84863010
| 制造平板显示器用扩散、氧化
、退
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| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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| 84863021
| 制造平板显示器用化学气相沉 积装
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| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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| 84863022
| 制造平板显示器用物理气相沉 积装
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| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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| 84863029
| 其他制造平板显示器用薄膜沉 积设
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| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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| 84863031
| 制造平板显示器用分步重复光 刻机
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| 台 |
| 0 | 100
| 17 |
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| 84863039
| 其他将电路图投影或绘制到感 光半
| 制造平板显示器 用的机器及装置
| 台 |
| 0 | 100
| 17 |
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| 84863041
| 制造平板显示器用超声波清洗 装置
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| 台 |
| 10 | 30 | 17 |
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| 84863049
| 其他制造平板显示器用湿法蚀 刻、
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| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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| 84863090
| 其他制造平板显示器用的机器 及装
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| 台 |
| 0 | 30 | 17 |
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84864010
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主要用于或专用于制作和修复 掩膜
| 掩膜版(mask),
投影掩膜版 (reticle)
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台 |
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0 |
70 |
17 |
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