半导体或继承电路生产设备海关编码
海关编码
海关商品名称
海关商品备注
法定单位 一
法定单位 二
惠税(%)
普税(%)
增值税(%)
监管条件
商检标志
84862010
氧化、扩散、退火及其他热处 理设
制造半导体器件 或集成电路用的
台
03017
84862021
制造半导体器件或集成电路用 化学
化学气相沉积装 置(CVD)
台
03017
84862022
制造半导体器件或集成电路用 物理
物理气相沉积装 置(PVD)
台
03017
84862029
其他制造半导体器件或集成电 路用
台
03017
84862031
制造半导体器件或集成电路用 分步
步进光刻机
台
0100
17
84862039
其他将电路图投影或绘制到感 光半
制造半导体器件 或集成电路用的
台
0100
17
84862041
制造半导体器件或集成电路用 等离
台
03017
84862049
其他制造半导体器件或集成电 路用
台
03017
84862050
制造半导体器件或集成电路用 离子
台
01117
84862090
其他制造半导体器件或集成电 路用
台
03017
84863010
制造平板显示器用扩散、氧化
、退
台
03017
84863021
制造平板显示器用化学气相沉 积装
台
03017
84863022
制造平板显示器用物理气相沉 积装
台
03017
84863029
其他制造平板显示器用薄膜沉 积设
台
03017
84863031
制造平板显示器用分步重复光 刻机
台
0100
17
84863039
其他将电路图投影或绘制到感 光半
制造平板显示器 用的机器及装置
台
0100
17
84863041
制造平板显示器用超声波清洗 装置
台
103017
84863049
其他制造平板显示器用湿法蚀 刻、
台
03017
84863090
其他制造平板显示器用的机器 及装
台
03017
84864010
主要用于或专用于制作和修复 掩膜
掩膜版(mask),
投影掩膜版 (reticle)
台
0
70
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